単位円上の極座標と直交多項式を用いたウエハ欠陥解析<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />この顧客が以下について質問しているテクニックに精通している人はいますか？参考までに、私はすでにJMP 12のクラスタリングプラットフォームに組み込まれた新しいHough変換について話しました。
「シリコンウエハ上での測定は、モデル化したい2-Dの変動を示しています。半径角度のではなく xy 。私は合うことを願っています単位円上の直交多項式 、おそらくゼルニケ係数 。
展開の最初の15用語に合わせたい場合、データテーブルに15列追加する必要がありますか？1次元フィット多項式や非線形モデルライブラリのようなもっと簡単な方法はありますか？添付の例を参照してください。」
前もって感謝します、
ヨルダン
