使用單位圓上的極坐標和正交多項式進行晶圓缺陷分析<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />有人熟悉這個客戶在下面詢問的技術嗎？僅供參考，我已經告訴他有關JMP 12中聚類平台內置的新Hough轉換，它似乎是出於類似目的，但卻採用了不同的技術。
“對矽片的測量顯示了我想要建模的二維變化半徑角而不是 XY 。我希望合適單位圓上的正交多項式 ，可能是澤尼克係數 。
如果我想要符合擴展的前15個術語，我必須在數據表中添加15列嗎？是否有更簡單的方法，如1-D擬合多項式或非線性模型庫？見附例。“
提前致謝，
約旦
