리소그래피 데이터저는 리소그래피 장비 제조업체에서 사용할 데이터 세트를 함께 모으고 있으며 수집 할 수있는 데이터의 종류를 파악해야합니다. 그들은 일반적으로 고객 사이트에 설치된 장비에 대한 데이터를 수집합니까? 그들은 그것에 접근 할 수 있을까요? 나는 전형적인 데이터 세트가 10-20K 관측과 30 개 정도의 기둥을 가졌다 고 들었다. 행은 부품에 해당합니다 (IC 장치를 의미하는 것으로 추측 합니다만, 테스트 구조 일 수도 있습니다). 나는 또한 열에는 고장 모드, 부품, 부품 유형, 공급자 (포토 레지스트? 코팅기 제조업체 외에 다른 사람이 스테퍼 내부에 서브 어셈블리를 만들겠습니까?)가 포함되어 있다고 들었습니다. 나는 그들이 인라인 및 오프라인 데이터를 수집하고 있을지도 모른다고 생각하지만, 설치된 장비가 어떻게 있는지 잘 모르겠습니다. 모든 입력을 부탁드립니다.
다시 : 리소그래피 데이터이봐, 돈, 너는 함께 일하는 사람들의 제목 / 역할을 알고 있니? 제공 한 행 / 열 설명이 주어지면 도구 구성 요소 또는 하위 어셈블리를 나타낼 수 있는지 궁금합니다. 스테퍼의 경우 베어링에서 모터, 렌즈 등에 이르기까지 다양합니다. 현장 서비스 엔지니어는 성능 모니터링을 위해 테스트 결과 데이터 (CD, 두께, 균일 성, 오버레이 등) 및 테스트 데이터에 대한 전기 데이터에 액세스 할 수 있습니다. 그들은 또한 그 결과를 생산하는 공구 레시피와 프로세스 파라미터를 갖게 될 것이지만 생산 다이에서 전기 결과에 액세스 할 수 있을지 의심 스럽습니다. 그래서 나는 어떻게 실패 모드, 부품 유형 및 공급자를 그들의 관점에서 해석 할 지 확신하지 못합니다.
다시 : 리소그래피 데이터Litho는 데이터에 여러 수준의 세분성을 가지고 있습니다. 그들은 아마 그것 모두에 접근 할 것이다. 그들은 노출, 웨이퍼 토폴로지 (웨이퍼는 평평하지 않으며 스테퍼 - 회로 인쇄를 위해 웨이퍼를 노출시키는 도구의 일부분은 보상해야합니다)와 같은 것들을 갖습니다. 그들은 또한 아마도 레지스트라고 부르는 광활성 화학 물질로 웨이퍼를 코팅하는 도구의 트랙 부분으로부터 매개 변수를 가질 것입니다. 이들은 분배 된 레지스트의 양, 코팅기에서의 회전 속도, 인쇄 전후에 레지스트를 경화시키기위한 가열 시간 및 온도와 같은 것입니다. 당신은 또한 아마 개발 시간을 가질 것입니다. 대부분의 데이터 세트는 최종 베이킹 공정 전후에 전자 현미경으로 임계 치수를 측정합니다 (리소그래피를 떠나기 전에 레지스트를 경화시키기 위해). 이것들은 마스크로 인쇄 된 선과 구멍의 너비와 종횡비와 같은 것입니다. 또한 CD 측정 값의 출처와 죽은 필드 (필름 네거티브에 대한 레티클 - 세미 아날로그)가 다중 다이를 가질 수있는 필드를 인쇄하는지에 대한 정보가 데이터 세트에 포함될 것으로 기대할 수 있습니다. 그건 내가 볼 수있는 것의 짧은 목록 일세 ... 어쩌면 누군가 다른 사람과 차임을 할 수 있습니다.
베스트,
엠
