Datos de litografiaEstoy reuniendo un conjunto de datos para usar en un fabricante de equipos de litografía y necesito averiguar qué tipo de datos podrían estar recolectando. ¿Normalmente recopilan datos sobre equipos que están instalados en los sitios de los clientes? ¿Tendrían acceso a ella? Me dijeron que el conjunto de datos típico tiene 10-20K observaciones y 30 o más columnas. Las filas corresponden a partes (que supongo que significa dispositivos IC, aunque supongo que también podrían ser estructuras de prueba). También se me dijo que las columnas incluyen el modo de falla, la pieza, el tipo de pieza, el proveedor (¿qué no es el fabricante de revestimientos fotorresistentes? ¿Otras personas construirían subconjuntos dentro de los steppers?). Sospecho que también pueden estar recolectando datos en línea y fuera de línea, pero no estoy seguro de cómo instalar el equipo. Cualquier entrada sería apreciada.
Re: Datos de litografíaOye, Don, ¿conoces los títulos / roles de la gente con la que trabajarás? Dadas las descripciones de filas / columnas que ha proporcionado, me pregunto si es posible que se refieran a componentes o subconjuntos de herramientas. Para los motores paso a paso, esto podría ser cualquier cosa, desde rodamientos hasta motores, lentes, etc. Los ingenieros de servicio de campo tendrían acceso a los datos de los resultados del proceso (CD, espesores, uniformidades, superposición, etc.) y datos eléctricos en los vehículos de prueba para supervisar el rendimiento. También tendrían la receta de la herramienta y los parámetros de proceso que produjeron esos resultados, pero es dudoso que tuvieran acceso a los resultados eléctricos en el dado de producción; así que no estoy seguro de cómo interpretaría el modo de falla, el tipo de pieza y el proveedor desde su perspectiva.
Re: Datos de litografíaLitho tiene varios niveles de granularidad en sus datos. Probablemente tendrán acceso a todo eso. Tendrán cosas como exposición, topología de obleas (las obleas nunca son planas y el paso a paso: la parte de la herramienta que expone la oblea para imprimir los circuitos tiene que compensar). Es probable que también tengan parámetros de la parte de la herramienta que cubre la oblea con un químico fotoactivo llamado resistir. Estas serían cosas como la cantidad de resistencia dispensada, las velocidades de centrifugado en el revestidor, los tiempos de cocción y las temperaturas para endurecer la resistencia antes y después de la impresión. Probablemente también tendrías tiempos de desarrollo, etc. Lo más probable es que el conjunto de datos tenga mediciones de Dimensión crítica de microscopios electrónicos antes y después del proceso de cocción final (para endurecer la resistencia antes de que salga de litografía). Estas serían cosas como anchos y relaciones de aspecto para líneas y agujeros impresos por la máscara. También puede esperar que el conjunto de datos contenga información sobre la matriz de la que provinieron las mediciones del CD y el campo en el que se encontraba (un retículo - semi análogo a un negativo de película - imprime un campo que puede tener múltiples matrices). Esa sería una lista corta de lo que esperaría ver ... Tal vez alguien más pueda estar de acuerdo con algunos otros.
Mejor,
METRO
