Dati di litografiaSto mettendo insieme un set di dati da utilizzare presso un produttore di apparecchiature di litografia e ho bisogno di capire che tipo di dati potrebbero raccogliere. Generalmente raccolgono dati su apparecchiature installate presso i siti dei clienti? Avrebbero accesso ad esso? Mi è stato detto che il set di dati tipico ha 10-20.000 osservazioni e una trentina di colonne. Le righe corrispondono a parti (che suppongo significhi dispositivi IC, anche se suppongo che potrebbero anche essere strutture di test). Mi è stato anche detto che le colonne includono la modalità fallimento, la parte, il tipo di parte, il fornitore (quale altro produttore di rivestimento per fotoresist ?, altre persone costruiranno sottogruppi all'interno degli stepper?). Sospetto che possano anche raccogliere dati in linea e offline, ma non sono sicuro di come installare le apparecchiature installate. Qualsiasi input sarebbe apprezzato.
Re: dati di litografiaEhi, Don, conosci i titoli / i ruoli delle persone con cui lavorerai? Date le descrizioni di riga / colonna che hai fornito, mi chiedo se potrebbero riferirsi a componenti dello strumento o sottoassiemi. Per stepper, questo potrebbe essere qualsiasi cosa, dai cuscinetti ai motori agli obiettivi, ecc. I tecnici di assistenza sul campo avrebbero accesso ai dati dei risultati di processo (CD, spessori, uniformità, sovrapposizione, ecc.) E ai dati elettrici sui veicoli di prova per il monitoraggio delle prestazioni. Avrebbero anche la ricetta dello strumento ei parametri di processo che hanno prodotto quei risultati, ma è dubbio che avrebbero accesso ai risultati elettrici sullo stampo di produzione; quindi non sono sicuro di come interpreterei la modalità fallimento, il tipo di parte e il fornitore dal loro punto di vista.
Re: dati di litografiaLitho ha diversi livelli di granularità nei loro dati. Probabilmente avranno accesso a tutto ciò. Avranno cose come l'esposizione, la topologia del wafer (i wafer non sono mai piatti e lo stepper - la parte dello strumento che espone il wafer per stampare i circuiti deve compensare). Probabilmente avranno anche dei parametri dalla parte di traccia dello strumento che ricopre il wafer con una sostanza chimica fotoattiva chiamata resist. Queste sarebbero cose come la quantità di resist erogata, le velocità di centrifuga sul rivestimento, i tempi di cottura e le temperature per indurire il resist prima e dopo la stampa. Probabilmente avresti anche dei tempi di sviluppo, ecc. Molto probabilmente il set di dati avrà misurazioni di dimensione critica dai microscopi elettronici prima e dopo il processo di cottura finale (per indurire il resist prima che lasci il litio). Questi sarebbero cose come le larghezze e le proporzioni per linee e fori stampati dalla maschera. Puoi anche aspettarti che il set di dati contenga informazioni su quale sia il risultato della misurazione del CD e su quale campo sia stato inserito (un reticolo - semi-analogico a negativo di un film - stampa un campo che può avere più die). Questo sarebbe un breve elenco di ciò che mi aspetto di vedere ... forse qualcun altro può intervenire con altri.
Migliore,
M
