リソグラフィデータ私はリソグラフィ装置製造業者で使用するためのデータセットをまとめています、そして彼らがどんな種類のデータを収集しているかもしれないかを把握する必要があります。彼らは通常、顧客サイトに設置された機器のデータを収集しますか？彼らはそれにアクセスできるでしょうか？典型的なデータセットには10〜20Kの観測値と30程度の列があると言われました。行は部品に対応しています（私はICデバイスを意味していますが、テスト構造になる可能性もあります）。私はまたコラムが故障モード、部品、部品タイプ、供給業者（フォトレジスト以外に何？コーター製造業者？他の人々はステッパーの中にサブアセンブリを組み立てるか？）を含むと言われました。インラインやオフラインのデータも収集しているのではないかと思いますが、設置されている機器の方法がわからないのです。任意の入力をいただければ幸いです。
Re：リソグラフィデータこんにちは、Don。あなたはこれから取り組む人々の役職や役割を知っていますか？あなたが提供した行/列の説明を考えれば、私はそれらがツールコンポーネントあるいはサブアセンブリに言及しているのかどうか疑問に思います。ステッパーの場合、これはベアリングからモーター、レンズなどへのものです。 現場サービスエンジニアは、性能を監視するために試験結果データ（CD、厚さ、均一性、オーバーレイなど）および電気データにアクセスすることができます。彼らはまた、それらの結果を生み出したツールレシピとプロセスパラメータを持っているでしょう、しかし彼らが生産ダイの電気的結果にアクセスすることができることは疑わしいです。そのため、故障モード、部品タイプ、サプライヤをそれらの観点からどのように解釈するのかわかりません。
Re：リソグラフィデータLithoのデータには、いくつかのレベルの粒度があります。 おそらくそれらすべてにアクセスできるでしょう。 それらは露光、ウェーハトポロジー（ウェーハは決して平らではなくステッパー - 回路を印刷するためにウェーハを露出するツールの部分）のようなものを持つでしょう。 彼らはまた、おそらくレジストと呼ばれる光活性化学物質でウェーハをコーティングするツールのトラック部分からのパラメータを持つでしょう。 これらは、分配されるレジストの量、コーター上でのスピン速度、焼き付け時間および印刷前後のレジストを硬化させるための温度のようなものであろう。 おそらく開発期間などもあるでしょう。 たぶん、データセットは最終的なベーキングプロセスの前後に電子顕微鏡からの限界寸法測定値を持つでしょう（それがリソを離れる前にレジストを硬化させるために）。 これらは、マスクによって印刷された線や穴の幅や縦横比などです。 また、データセットには、CDの測定値の由来とそのフィールドの種類に関する情報が含まれていることも想定できます（レチクル（フィルムネガのセミアナログ）。複数のチップを含む可能性があるフィールドを印刷します）。 それは私が見ることを期待していたものの短いリストになるでしょう... 他の誰かが他の人と一緒にチャイムすることができるかもしれません。
ベスト、
M
