LithographiedatenIch stelle einen Datensatz zusammen, der bei einem Hersteller von Lithographieausrüstungen verwendet werden kann, und muss herausfinden, welche Art von Daten sie sammeln. Sammeln sie normalerweise Daten zu Geräten, die bei Kunden installiert werden? Hätten sie Zugang dazu? Mir wurde gesagt, dass der typische Datensatz 10 bis 20.000 Beobachtungen und 30 Spalten enthält. Die Zeilen entsprechen den Teilen (was ich vermute, bedeutet IC-Geräte, obwohl es sich auch um Teststrukturen handeln könnte). Mir wurde auch gesagt, dass die Säulen Versagensart, Teil, Teiletyp und Lieferant enthalten (was außer dem Photoresist-Beschichterhersteller? Würden andere Personen innerhalb der Stepper Unterbaugruppen aufbauen?). Ich vermute, dass sie auch Inline- und Offline-Daten sammeln, aber ich bin mir nicht sicher, wie die installierten Geräte aussehen. Jede Eingabe wäre dankbar.
Re: LithographiedatenHey, Don, kennst du Titel / Rollen der Leute, mit denen du arbeitest? Angesichts der von Ihnen bereitgestellten Zeilen- / Spaltenbeschreibungen frage ich mich, ob sie sich auf Werkzeugkomponenten oder Unterbaugruppen beziehen. Für Stepper könnte dies alles von Lagern über Motoren bis zu Linsen usw. sein. Servicetechniker vor Ort hätten Zugriff auf Prozessergebnisdaten (CDs, Dicken, Gleichmäßigkeiten, Überlagerung usw.) und elektrische Daten von Testfahrzeugen, um die Leistung zu überwachen. Sie hätten auch das Werkzeugrezept und die Prozessparameter, die diese Ergebnisse hervorbrachten, aber es ist zweifelhaft, dass sie Zugang zu elektrischen Ergebnissen auf dem Produktionswerkzeug hätten. Ich bin mir also nicht sicher, wie ich Ausfallmodus, Teiletyp und Zulieferer aus ihrer Sicht interpretieren würde.
Re: LithographiedatenLitho weist in ihren Daten mehrere Granularitätsstufen auf. Sie haben wahrscheinlich Zugriff auf alles. Sie haben Dinge wie Belichtung, Wafer-Topologie (Wafer sind niemals flach und der Stepper - der Teil des Werkzeugs, der den Wafer zum Drucken der Schaltungen freilegt, muss dies kompensieren). Sie haben wahrscheinlich auch Parameter aus dem Spurenteil des Werkzeugs, das den Wafer mit einer photoaktiven Chemikalie beschichtet, die als Resist bezeichnet wird. Dies wären Dinge wie die Menge des aufgetragenen Resists, Schleuderdrehzahlen auf dem Beschichter, Einbrennzeiten und Temperaturen, um den Resist vor und nach dem Druck auszuhärten. Sie hätten wahrscheinlich auch Entwicklungszeiten usw. Höchstwahrscheinlich enthält der Datensatz vor und nach dem abschließenden Einbrennvorgang kritische Dimensionsmessungen von Elektronenmikroskopen (um den Resist zu härten, bevor er Litho verlässt). Dies wären beispielsweise Breiten und Seitenverhältnisse für Linien und Löcher, die von der Maske gedruckt werden. Sie können auch davon ausgehen, dass der Datensatz Informationen darüber enthält, aus welchem Würfel die CD-Messungen stammen und in welchem Feld sich der Würfel befand (ein Absehen - halb analog zu einem Filmnegativ - druckt ein Feld, das mehrere Würfel enthalten kann). Das wäre eine kurze Liste dessen, was ich erwarten würde ... Vielleicht kann jemand anderes mit anderen zusammen spielen.
Beste,
M
