Données lithographiquesJe suis en train de mettre au point un jeu de données à utiliser chez un fabricant de matériel de lithographie et de déterminer le type de données qu'il est susceptible de collecter. Collectent-ils généralement des données sur les équipements installés sur les sites des clients? Y auraient-ils accès? On m'a dit que l'ensemble de données typique comporte 10 à 20 000 observations et environ 30 colonnes. Les rangées correspondent aux parties (ce qui, je suppose, désigne les dispositifs à circuit intégré, bien que je suppose que cela pourrait également être des structures de test). On m'a également dit que les colonnes comprenaient le type de défaillance, le type de pièce, le type de pièce, le fournisseur (quoi d'autre que le photoresist? Le fabricant de la coucheuse? D'autres personnes créeraient-elles des sous-ensembles à l'intérieur des moteurs pas à pas?). Je soupçonne qu'ils peuvent également collecter des données en ligne et hors ligne, mais je ne suis pas sûr de savoir comment pour l'équipement installé. Toute entrée serait appréciée.
Re: données de lithographieHey, Don, connaissez-vous les titres / rôles des personnes avec qui vous travaillerez? Compte tenu de la description des lignes / colonnes que vous avez fournie, je me demande si elles font référence à des composants d’outils ou à des sous-ensembles. Pour les steppers, cela peut aller des roulements aux moteurs, en passant par les lentilles, etc. Les ingénieurs de service sur le terrain auraient accès aux données de résultats de processus (CD, épaisseurs, uniformités, superposition, etc.) et aux données électriques sur les véhicules d'essai afin de surveiller les performances. Ils disposeraient également de la recette d’outil et des paramètres de traitement qui produiraient ces résultats, mais il est peu probable qu’ils aient accès aux résultats électriques lors de la fabrication; Je ne sais donc pas comment j'interpréterais le mode de défaillance, le type de pièce et le fournisseur de leur point de vue.
Re: données de lithographieLitho a plusieurs niveaux de granularité dans leurs données. Ils auront probablement accès à tout cela. Ils auront des choses comme l'exposition, la topologie des plaquettes (les plaquettes ne sont jamais plates et le stepper - la partie de l'outil qui expose la plaquette pour imprimer les circuits doit compenser). Ils auront probablement aussi des paramètres de la partie piste de l'outil qui recouvre la plaquette d'un produit chimique photoactif appelé resist. Il s’agit notamment de la quantité de réserve distribuée, des vitesses d’essorage sur la coucheuse, des temps de cuisson et des températures permettant de durcir la réserve avant et après l’impression. Vous auriez probablement aussi des temps en développement, etc. Très probablement, l'ensemble de données comportera des mesures de dimension critique à l'aide de microscopes électroniques avant et après le processus de cuisson final (pour durcir le résist avant qu'il ne quitte la lithographie). Ce sont des choses telles que les largeurs et les rapports de forme pour les lignes et les trous imprimés par le masque. Vous pouvez également vous attendre à ce que le jeu de données contienne des informations sur l'origine des mesures du CD et sur le champ dans lequel se trouve cette matrice (un réticule - semi-analogique à un négatif de film - imprime un champ pouvant comporter plusieurs matrices). Ce serait une courte liste de ce que je m'attendrais à voir ... peut-être que quelqu'un d'autre peut en parler avec d'autres.
Meilleur,
M
