光刻數據我正在整理一個數據集，用於光刻設備製造商，需要弄清楚他們可能收集哪種數據。他們通常會收集客戶站點上安裝的設備的數據嗎？他們可以訪問嗎？有人告訴我，典型的數據集有10-20K觀測值和30左右的列。行對應於部分（我猜測它意味著IC設備，雖然我認為它也可能是測試結構）。我還被告知，列包括故障模式，零件，零件類型，供應商（除了光刻膠？塗佈機製造商之外還有什麼？其他人會在步進機內部構建子組件嗎？）。我懷疑他們也可能正在收集內聯和離線數據，但我不確定如何安裝設備。任何輸入將不勝感激。
Re：光刻數據嘿，唐，你知道你將要合作的人的頭銜/角色嗎？鑑於您提供的行/列描述，我想知道它們是否可能指的是工具組件或子組件。對於踏步機，這可以是從軸承到電機到鏡頭等的任何東西。 現場服務工程師可以訪問測試車輛的過程結果數據（CD，厚度，均勻性，覆蓋等）和電氣數據，以監控性能。他們還會得到產生這些結果的工具配方和工藝參數，但是他們在生產模具上可以獲得電氣結果是值得懷疑的;所以我不確定如何從他們的角度解釋故障模式，零件類型和供應商。
Re：光刻數據Litho在其數據中具有多個粒度級別。 他們可能可以訪問所有這些內容。 他們將擁有諸如曝光，晶圓拓撲（晶圓永遠不會平坦）以及步進器 - 工具暴露晶圓以印刷電路的部分必須進行補償的事情。 它們也可能具有來自工具軌道部分的參數，該工具用稱為抗蝕劑的光活性化學物質塗覆晶片。 這些將是諸如分配的抗蝕劑的量，塗佈機上的旋轉速度，烘烤時間和在印刷之前和之後硬化抗蝕劑的溫度之類的事情。 你也可能有發展時間等。 最有可能的是，數據集將在最終烘焙過程之前和之後從電子顯微鏡進行臨界尺寸測量（在抗蝕劑離開光刻之前硬化抗蝕劑）。 這些將是由面具打印的線條和孔的寬度和縱橫比。 您還可以期望數據集包含有關CD測量結果的來源以及骰子所處的字段的信息（光罩 - 半模擬到膠片負片 - 打印可能有多個芯片的字段）。 這將是我期望看到的一個簡短清單...... 也許其他人可以和其他人一起聊天。
最好，
中號
