MSA：％GR＆Rを計算するためにどのシグマを使うべきですか？<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />私はあなたが私を手伝うことができると確信しているMSA質問をします、それは単純な質問のようですが、何らかの理由で私は私が混乱していると自分自身を納得させました。ここでMSAを実行しました。ここでモデルはY =日+負荷[日] +サイト*負荷[日] +繰り返し[サイト、負荷、日]、測定された応答は酸化物の厚さでした。これは3日間、3負荷/日、9サイト/負荷、5繰り返し/サイトでした。MSAには1枚のウェーハを使用した。このプロセスのSPCチャートと豊富な履歴データがあります。これはXbar-Sチャートです（1ウェハあたり9個の測定サイトから計算されたXbarのウェハ平均、プロセス実行ごとに1ウェハ測定）。変動性プラットフォームを使用して、ヒストリカルシグマを入力するように促されたときに、％GR＆Rをプロセスの％として計算します。このプロセスでは、履歴データのウェーハ平均から計算した履歴シグマを入力していましたが、今回は、履歴データからサイトレベルのデータ（つまり生データ）で計算した履歴シグマを使用するかどうかを質問しました。ウェハレベルとサイトレベルの計算では、シグマに2倍の差があります（サイトレベルのデータには、想像すると2倍高いシグマがあります）。この場合、どちらが適しているのですか。ウェーハ平均をチャート化しているので、ウェーハ平均またはサイトレベルのデータから計算したシグマを使用すべきですか？前もって感謝します。
再：MSA：％GR＆Rを計算するために使用するシグマ？私は答えがあると信じているので、私は自分の質問に答えようとします。 うまくいけば、これは将来同じ質問をするかもしれない他の人たちを助けるでしょう。答えを要約すると、私は過去の個々のサイトの測定値から計算したシグマを使用するべきです。現在はロングバージョンです。SPCチャートでウェーハ平均を測定しているのではなく、個々のサイトを測定して、これらの個々のサイトレベルの測定値からXbarとStd Devを計算しています。 私のプロセスのばらつきは平均のばらつきではなく、個々のサイトのばらつきです。うまくいけば、それは理にかなっています。 入力で気軽に参加してください。
