<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />Ich habe eine MSA-Frage, bei der Sie sicher mithelfen können, es scheint eine einfache Frage zu sein, aber aus irgendeinem Grund habe ich mich überzeugt, dass ich verwirrt bin. Wir haben hier einen MSA durchgeführt, bei dem das Modell Y = Tag + Last [Tag] + Standort * Last [Tag] + Wiederholung [Standort, Last, Tag] war. Die gemessene Reaktion war die Oxiddicke. Dies waren 3 Tage, 3 Ladungen / Tag, 9 Standorte / Last, 5 Wiederholungen / Standort; ein Wafer wurde für MSA verwendet. Wir haben ein SPC-Diagramm für diesen Prozess und viele historische Daten, es ist ein Xbar-S-Diagramm (Xbar des Wafer-Durchschnitts, berechnet aus 9 Messstellen pro Wafer; 1 Wafer wird pro Prozesslauf gemessen). Mit der Variability-Plattform berechnen wir% GR & R als Prozentsatz des Prozesses. Als ich aufgefordert wurde, das historische Sigma einzugeben, fragte ich, welches Sigma ich verwenden sollte. Ich habe das historische Sigma eingegeben, das aus den Wafer-Durchschnittswerten der historischen Daten für diesen Prozess berechnet wurde ... aber dieses Mal fragte ich mich, ob ich das historische Sigma verwenden sollte, das mit den Daten auf Standortebene (dh Rohdaten) aus historischen Daten berechnet wurde. Es gibt einen zweifachen Sigma-Unterschied zwischen Wafer-Level- und Site-Level-Berechnungen (Daten auf Standort-Ebene haben ein zweimal höheres Sigma, als Sie sich vorstellen würden). Irgendwelche Eingaben auf welchen ist in diesem Fall geeigneter? Da wir Wafer-Mittel darstellen, sollte ich das aus Wafer-Mitteln oder Standortdaten berechnete Sigma verwenden? Danke im Voraus.
Ich werde versuchen, meine eigene Frage zu beantworten, da ich glaube, dass ich die Antwort habe. Hoffentlich hilft dies anderen, die in der Zukunft möglicherweise dieselbe Frage haben. Kurzfassung der Antwort ist, dass ich das Sigma verwenden sollte, das aus den historischen Einzelstandortmessungen berechnet wurde. Lange Version jetzt ... Ich messe in meinem SPC-Diagramm keine Wafer-Mittel. Ich messe einzelne Standorte und berechne Xbar und Std Dev aus diesen einzelnen Standortmessungen. Meine Prozessvariation ist keine Variation der Mittelwerte, sondern eine Variation der einzelnen Websites. Hoffentlich macht das Sinn. Fühlen Sie sich frei, mit Eingaben zu spielen.
