<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />J'ai une question sur la MSA à laquelle, j'en suis sûr, vous pouvez m'aider. Elle semble être simple, mais pour une raison quelconque, je me suis convaincue que j'étais confuse. Nous avons exécuté ici un MSA dont le modèle était Y = Jour + Charge [Jour] + Site * Charge [Jour] + Répéter [Site, Charge, Jour], la réponse mesurée était l'épaisseur de l'oxyde. C'était 3 jours, 3 chargements / jour, 9 sites / chargement, 5 répétitions / site; une plaquette a été utilisée pour MSA. Nous disposons d’un graphique SPC pour ce processus et de nombreuses données historiques; il s’agit d’un graphique Xbar-S (moyenne de la barre (Xbar) calculée à partir de 9 sites de mesure par tranche; 1 tranche mesurée par cycle de traitement). En utilisant la plate-forme de variabilité, nous calculons% GR & R en tant que% du processus. Lorsque je suis invité à entrer le sigma historique, j'ai commencé à me demander quel sigma je devais utiliser. Je suis entré dans la sigma historique calculée à partir des moyennes de données historiques de tranche pour ce processus… ..mais cette fois je me suis demandé si je devais utiliser la sigma historique calculée avec les données au niveau du site (c'est-à-dire les données brutes) à partir de données historiques. Il existe une différence 2X en sigma entre les calculs de niveau de tranche et de niveau de site (les données de niveau de site ont 2X de sigma supérieur, comme vous pouvez l’imaginer). Une entrée sur laquelle on est plus approprié dans ce cas? Puisque nous cartographions les moyennes de plaquettes, devrais-je utiliser le sigma calculé à partir des moyennes de plaquettes ou des données au niveau du site? Merci d'avance.
Je vais essayer de répondre à ma propre question car je pense avoir la réponse. J'espère que cela aidera d'autres personnes qui pourraient avoir la même question à l'avenir. La version courte de la réponse est que je devrais utiliser le sigma calculé à partir des mesures historiques de chaque site. Version longue maintenant ... Je ne mesure pas les moyennes de plaquettes dans mon diagramme SPC, je mesure des sites individuels et calcule Xbar et Std Dev à partir de ces mesures de niveau de site individuel. Ma variation de processus n'est pas une variation de moyenne, mais une variation de sites individuels. Espérons que cela a du sens. Ne hésitez pas à sonner avec l'entrée.
