MSA：用於計算％GR＆R的西格瑪？<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />我有一個MSA問題，我相信你可以幫助我，這似乎是一個簡單的問題，但出於某種原因，我已經說服自己，我很困惑。我們在這裡運行MSA，其中模型是Y = Day + Load [Day] + Site * Load [Day] + Repeat [Site，Load，Day]，測量的響應是氧化物厚度。這是3天，每天3次裝載，9次裝載/裝載，5次重複/現場;一個晶片用於MSA。我們確實有這個過程的SPC圖表和大量的歷史數據，它是一張Xbar-S圖表（Xbar的晶圓平均值是從每個晶圓的9個測量位置計算得出的;每個工藝運行測量的1個晶圓）。使用可變性平台，我們計算％GR＆R作為過程的百分比，當提示輸入歷史sigma時，我開始質疑我應該使用哪個sigma。我一直在輸入從這個過程的歷史數據的晶圓平均值計算的歷史西格瑪......但這次我質疑我是否應該使用歷史數據（即原始數據）計算的歷史西格瑪。晶圓級別和站點級別計算之間的sigma有2倍的差異（站點級別數據的sigma比您想像的高2倍）。在這種情況下哪一個更適合的輸入？既然我們應該使用從晶圓裝置或現場級數據計算的西格瑪來製作晶圓裝置嗎？提前致謝。
回复：MSA：用於計算％GR＆R的西格瑪？我會嘗試回答我自己的問題，因為我相信我有答案。 希望這將有助於將來可能有同樣問題的其他人。答案的簡短版本是我應該使用從歷史個別站點測量計算出的sigma。現在很長版本....我不是在我的SPC圖表中測量晶圓裝置，我正在測量各個站點並從這些單獨的站點級別測量中計算Xbar和Std Dev。 我的流程變化不是均值的變化，而是各個站點的變化。希望這是有道理的。 隨意加入輸入。
