如何處理與時間有關的因素如何處理與時間有關的因素
我正在半導體環境中設計一個實驗。簡而言之：用於製造矽晶片的工具（CMP-化學機械拋光）的性能（即蝕刻材料）很大程度上取決於某些消耗部件的壽命 - 即載體和墊。這些部件相互獨立地消耗，一旦達到目標壽命，它們就會被替換掉。不幸的是，我們認為，與製造這些部件的每個樣品有關的一些其他因素而不僅僅是壽命會影響CMP的性能，使得具有相同壽命的兩個物理上不同的載體可以對響應具有不同的影響。
該研究的目的是將CMP的性能與這些部件的壽命聯繫起來（這將非常容易），但要考慮到零件之間構造差異的隨機變化。主要的挑戰是給定部分的壽命只能隨著時間而增加，因此不可能完全隨機化。解釋：我不能用新鮮的載體執行初始運行，在生命週期結束時使用相同的載體執行其他運行並使用新鮮載體完成實驗！另一方面，如果我實際改變了部件，我害怕將響應與來自部件間變化的其他因素混淆。
我覺得最初分裂情節設計會有所幫助，但我不能在這個框架內解決上述問題。我還要補充說，改變這些部件非常耗時且昂貴，因此最小化變化是挑戰的一部分。
我也讀了一些有趣的建議布拉德利瓊斯 2012年的日期 JMP博客關於使用時間作為協變量，但我的上述情況似乎比那篇文章中提到的更複雜。
如果JMP能夠考慮到我上面描述的那種約束，那將是非常好的。
我希望我的描述足夠清楚，任何建議都將不勝感激！
謝謝
馬特奧
Re：如何處理與時間有關的因素利瑪竇，
聽起來更像是被動數據收集而不是設計實驗。您無法控制載波和焊盤的使用年限（僅當您可以收集數據時，並且僅在時間方向上向前）。我將不得不考慮樣本大小問題，這是一個難題，因為你有一個混合模型，並涉及到墊到墊和載波到載波的可變性的一些猜測。希望在這個領域擁有更廣泛背景的人可以加入。
唐
Re：如何處理與時間有關的因素目前，我們只對這兩個年齡因素感興趣。
BR
馬特奧
Re：如何處理與時間有關的因素利瑪竇，
墊和載體的年齡旁邊還有哪些其他年齡因素？
唐
Re：如何處理與時間有關的因素謝謝Don，我想我理解你的建議，但我需要一些進一步的建議：
1）我應該如何確保年齡因素彼此“正交”以及墊/載體以避免混淆 - 我不確定這個概念如何適用於隨機因素。
2）我應該使用多少個墊/載體作為規則的拇指（我想這取決於許多事情，但是我想我想看看它們是否可以解釋總方差的至少一半）。
3）在您提出的設計中，我是否仍然應該使用分割圖方法進行墊/載體，如下面的JMP獲得，將墊設置為硬盤和載板頭是否容易？
Whole_plot CARRIER_HEAD PAD
1 L2 L1
1 L3 L1
1 L1 L1
2 L1 L2
2 L3 L2
2 L2 L2
3 L3 L3
3 L1 L3
3 L2 L3
4 L1 L2
4 L3 L2
4 L2 L2
5 L1 L3
5 L3 L3
5 L2 L3
Re：如何處理與時間有關的因素利瑪竇，
我回答您在一般LinkedIn DOE討論組中的查詢 。因為你無法控制年齡，但仍然有興趣獲得年齡的影響，你將無法將其包含在實驗設計中，但肯定能夠在建模中使用它實驗數據。讓我們簡單地假設，唯一改變的是載波，載波墊和墊（載波和載波）的年齡。現在，讓我們來看看你需要的墊子和載體的數量。在實驗過程中，對於給定的觀察，您將記錄您感興趣的響應，加上墊的年齡，墊ID（允許您區分不同墊的任何值），載體的年齡（假設您認為這很重要）和運營商ID。一旦你完成，一個簡單的模型（但不是唯一可能的模型）將兩個年齡變量視為固定效果，Pad [Carrier] - 填充嵌套在載體中 - 載體作為隨機效應。在這裡，我假設給定載波可能有多個焊盤更改。
唐
