두께와 시트 저항의 상관 관계를 생성하는 방법<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />나는 기계 A1과 기계 A2에서 50 개의 웨이퍼에 50 개의 두께 데이터 포인트를 가지고 있습니다. 25 / machine이라고 가정합시다.
위에서 사용 된 동일한 50 개의 웨이퍼에서 50 장의 쉬트 저항 데이터 포인트를 가지고 있지만 머신 B1과 B2에는 있습니다. 잠시 동안 A1에서의 웨이퍼 측정이 B2에서의 B1 및 A2에서 측정되었다고 가정 해 봅시다.
두께와 시트 저항 간의 상관 관계를 분석하기위한 가장 좋은 방법은 무엇입니까? 단순한 y / x / 다른 두 가지 도구 세트 (A / 
의 감도를 고려한 다른 방법으로 더 정확한 해상도를 얻을 수 있습니까?
미리 감사드립니다.
Anurag
제목 : Re : 시트 저항 대 두께에 상관 관계를 생성하는 방법나는 그 대답이 당신이 성취하고자하는 바를 정확히 (어떤 결과가 사용될 것인가), 그리고 어떻게 데이터가 수집되는지에 달려 있다고 생각합니다.
귀하의 '단순한'경우 (기계 A1과 B1에만 해당)를 보면, 어떤 웨이퍼인지 식별 할 수 있다고 가정합니다. 각 웨이퍼에 대해 50 개의 두께 측정 값과 50 개의 저항 값 측정 값이 있다고 언급합니다. 중요한 고려 사항은 두 측정이 웨이퍼의 동일한 물리적 위치 (동일한 사이트)에서 수행되었는지, 그리고 어떤 사이트가 식별되고 기록되는지 여부입니다. 그렇다면 두께에 대한 저항성의 산점도로 시작하고 색상, 마커 및 로컬 데이터 필터를 사용하여 웨이퍼 내 또는 웨이퍼 사이의 변형 패턴을 찾습니다. 당신이 보는 것은 형식적 분석의 어떤 종류가 필요한지 결정하는 데 도움이 될 것입니다.
