厚さとシート抵抗の相関フィットを生成する方法<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />マシンA1とマシンA2の50枚のウェーハから50個の厚さデータポイントがあります。25 / machineとしましょう。
上記で使用したのと同じ50枚のウェハから、ただしマシンB1とB2の50枚のシート抵抗データポイントを取得しました。当面は、簡単のために、A1で測定されたウェハがB1で測定され、A2がB2で測定されたとしましょう。
厚さとシート抵抗の間の相関関係についてこのデータを分析するための最良の方法は何ですか？xによる単純y /これら2つの異なるツールセット（A / B）の感度を考慮した他の方法なので、より正確な解像度が得られますか？
前もって感謝します
アヌラグ
再：どのように厚さ対シート抵抗に相関フィットを生成するその答えは、あなたが達成しようとしていること（どんな結果がどのように使用されるのか）、およびデータの収集方法の詳細に大きく依存していると思います。
あなたの「単純な」ケース（マシンA1とB1のみ）を見て、私はあなたがどのウェーハがどれであるかを識別することができると思います。あなたはあなたが各ウエハーについて50の厚さの測定値と50の抵抗率の測定値を持っていると言います。重要な考慮事項は、両方の測定がウェハ上の同じ物理的な場所（同じ場所）で行われるかどうか、そしてどの場所がどれであるかを識別して記録できるかどうかです。もしそうなら、厚さに対する抵抗率の散布図から始めて、色、マーカー、そして局所的なデータフィルターを使って、ウェーハ内およびウェーハ間の変動パターンを探すことになるでしょう。あなたが見たものはあなたがどんな種類の正式な分析が必要とされるかもしれないかを決定するのを助けるでしょう。
