Comment générer un ajustement de corrélation entre l'épaisseur et la résistance de la feuille<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />J'ai 50 points de données d'épaisseur sur 50 plaquettes de la machine A1 et de la machine A2. Supposons 25 / machine.
J'ai 50 points de données de résistance de feuille sur les mêmes 50 plaquettes que celles utilisées ci-dessus, mais sur les machines B1 et B2. Supposons pour le moment que les tranches de wafers mesurées sur A1 le soient sur B1 et A2 sur B2, par souci de simplicité.
Quel est le meilleur moyen d’analyser ces données pour la corrélation entre l’épaisseur et la résistance de la feuille? Simple y par x / toute autre méthode prenant en compte la sensibilité de ces 2 jeux d’outils différents (A / 
pour obtenir une résolution plus précise?
Merci d'avance
Anurag
Re: Comment générer un ajustement de corrélation sur l'épaisseur vs la résistance de la feuilleJe pense que la réponse dépend beaucoup de ce que vous essayez d'accomplir (à quoi serviraient les résultats) et des détails de la manière dont les données sont collectées.
En regardant votre "simple" cas (machines A1 et B1 uniquement), je suppose que vous êtes capable d'identifier quelle plaquette est laquelle. Vous dites que vous avez 50 mesures d'épaisseur et 50 mesures de résistivité pour chaque tranche. Il est important de savoir si les deux mesures sont effectuées au même emplacement physique sur la plaquette (le même site) et si vous pouvez ou non identifier et enregistrer quel site est lequel. Dans ce cas, je commencerais simplement par un diagramme de dispersion de la résistivité en fonction de l'épaisseur et utiliserais des couleurs, des marqueurs et un filtre de données local pour rechercher des modèles de variation à l'intérieur et entre les tranches. Ce que vous voyez vous aidera à déterminer quel type d’analyse formelle peut être nécessaire.
