Come generare una correlazione adatta allo spessore rispetto alla resistenza del foglio<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />Ho 50 punti dati di spessore su 50 wafer dalla macchina A1 e dalla macchina A2. Assumiamo 25 / macchina.
Ho 50 punti dati di resistenza del foglio sugli stessi 50 wafer usati sopra ma sulla macchina B1 e B2. Supponiamo per ora che la misura dei wafer su A1 sia stata misurata su B1 e A2 su B2, per semplicità.
Qual è il modo migliore per analizzare questi dati per la correlazione tra spessore e resistenza del foglio? Semplice da x / qualsiasi altro metodo che tenga conto della sensibilità di questi 2 diversi set di strumenti (A / 
in modo da avere una risoluzione più precisa?
Grazie in anticipo
Anurag
Ri: Come generare una correlazione adatta allo spessore rispetto alla resistenza del foglioPenso che la risposta dipenda molto da quello che stai cercando di realizzare (per quali risultati verranno utilizzati) e dai dettagli su come vengono raccolti i dati.
Osservando il tuo caso 'semplice' (solo macchine A1 e B1), presumo che tu sia in grado di identificare quale wafer è quale. Dite che avete 50 misure di spessore e 50 misure di resistività per ogni wafer. Considerazioni importanti sono se entrambe le misurazioni sono effettuate nella stessa posizione fisica sul wafer (lo stesso sito) e se è possibile identificare e registrare quale sito è o meno. In tal caso, inizierei semplicemente con una dispersione di resistività contro lo spessore e useremo colori, indicatori e un filtro dati locale per cercare i modelli di variazione all'interno e tra i wafer. Quello che vedi ti aiuterà a determinare che tipo di analisi formale può essere richiesta.
