Wie wird eine Korrelation zwischen Dicke und Schichtwiderstand hergestellt?<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />Ich habe 50 Dickendatenpunkte von 50 Wafern von Maschine A1 und Maschine A2. Nehmen wir an, 25 / Maschine.
Ich habe 50 Blattwiderstandsdatenpunkte von denselben 50 oben verwendeten Wafern, jedoch auf Maschine B1 und B2. Nehmen wir zur Vereinfachung vorerst an, dass die auf A1 gemessenen Wafer auf B1 und A2 auf B2 gemessen wurden.
Wie lassen sich diese Daten am besten auf Korrelation zwischen Dicke und Schichtwiderstand analysieren? Einfaches y durch x / jede andere Methode, die die Empfindlichkeit dieser 2 verschiedenen Werkzeugsätze (A / 
berücksichtigt, damit ich eine genauere Auflösung habe?
Danke im Voraus
Anurag
Betreff: Wie wird eine Korrelation zwischen Dicke und Schichtwiderstand hergestellt?Ich denke, die Antwort hängt stark davon ab, was genau Sie erreichen möchten (wofür die Ergebnisse verwendet werden) und wie die Daten gesammelt werden.
Wenn Sie Ihren 'einfachen' Fall betrachten (nur Maschinen A1 und B1), gehe ich davon aus, dass Sie in der Lage sind, zu identifizieren, welcher Wafer welcher ist. Sie erwähnen, dass Sie 50 Messungen der Dicke und 50 Messungen des spezifischen Widerstands für jeden Wafer haben. Wichtige Überlegungen sind, ob beide Messungen am selben physikalischen Ort auf dem Wafer (am selben Ort) durchgeführt werden oder nicht und ob Sie identifizieren und aufzeichnen können, welcher Ort welcher ist. In diesem Fall würde ich einfach mit einem Streudiagramm des spezifischen Widerstands gegen die Dicke beginnen und mit Farben, Markierungen und einem lokalen Datenfilter nach Variationsmustern innerhalb und zwischen Wafern suchen. Anhand der angezeigten Informationen können Sie feststellen, welche Art von formaler Analyse erforderlich sein kann.
