如何生成厚度與薄層電阻的相關性<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />我從機器A1和機器A2獲得了50個晶圓的50個厚度數據點。我們假設25 /機器。
我在上面使用的相同的50個晶圓上有50個薄層電阻數據點，但是在機器B1和B2上。我們暫時假設為了簡單起見，A1上的晶圓測量值是在B1和A2上測量的。
分析這些數據以獲得厚度和薄層電阻之間相關性的最佳方法是什麼？簡單y乘x /任何其他方法考慮到這兩個不同工具集（A / B）的靈敏度，以便我有更精確的分辨率？
提前致謝
阿努拉格
Re：如何生成厚度與薄層電阻的相關性我認為答案很大程度上取決於你想要完成什麼（將使用什麼結果），以及如何收集數據的細節。
看看你的“簡單”情況（機器A1和B1），我假設你能夠確定哪個晶圓是哪個。您提到每個晶圓有50個厚度測量值和50個電阻率測量值。重要的考慮因素是兩個測量是否都在晶圓上的同一物理位置（同一地點）進行，以及您是否可以識別和記錄哪個地點是哪個。如果是這樣，那麼我將簡單地從電阻率與厚度的散點圖開始，並使用顏色，標記和局部數據濾波器來尋找晶圓內和晶圓之間的變化模式。您所看到的內容將幫助您確定可能需要哪種形式的分析。
