이것은 2006년 디스커버리 컨퍼런스에서 발표된 Lou Valente의 논문입니다.
좋은 이유:
1) 매우 잘 개발된 DOE 연구.
2) 증기 증착은 반도체 제조에 교차 적용됩니다.
3) 가변성 감소 DOE 예시