Dies ist ein Papier, das Lou Valente auf der Discovery Conference 2006 präsentierte.
Warum gut:
1) Eine sehr gut entwickelte DOE-Studie.
2) Dampfabscheidung hat eine übergreifende Anziehungskraft auf die Halbleiterfertigung.
3) Ein beispielhaftes DOE zur Variabilitätsreduktion
