Identification des outils malveillants et de la dérive de l'état du processus à l'aide des techniques de visualisation et d'analyse du logiciel JMP
Jim Nelson, Spécialiste des données d'ingénierie - Freescale Semiconductor
La fabrication de circuits intégrés (puces informatiques) nécessite des centaines d'étapes très exigeantes.Des centaines d'équipements différents sont utilisés au cours de ces étapes.La dérive de processus et les baisses de rendement sont une réalité redoutée dans l'industrie des semi-conducteurs.L'identification des étapes de processus et/ou de l'outil ou de la combinaison d'outils qui ont contribué à la dérive du processus ou à la baisse de rendement est un processus long et complexe, qui prend une part considérable du temps des ingénieurs au sein de Freescale.Une combinaison d'outils d'analyse fournis par le logiciel JMP, de méthodologies statistiques développées par Freescale et de scripts JMP d'analyse et de visualisation développés par Freescale est utilisée pour résoudre ces problèmes.Cet article décrit l'utilisation du partitionnement, une méthodologie développée par Freescale, Step Origin of a Drift Analysis (SODA) et deux scripts logiciels JMP développés par Freescale.Les scripts permettent de classer les tableaux et les graphiques en fonction de l'évaluation statistique ainsi que la possibilité de passer très rapidement d'un tableau à l'autre.Cette méthodologie permet une combinaison très positive de conseils analytiques, associés à des outils qui fournissent aux ingénieurs des preuves visuelles correspondant à leurs connaissances et à leur expérience dans la prise de décisions sur ce qui doit être fait pour ramener les processus à l'alignement.
