Identifizierung unerwünschter Tools und Prozesszustandsabweichungen mithilfe der Visualisierungs- und Analysetechniken von JMP Software
Jim Nelson, Spezialist für technische Daten – Freescale Semiconductor
Die Herstellung integrierter Schaltkreise (Computerchips) erfordert Hunderte sehr anspruchsvoller Schritte.In diesen Schritten werden Hunderte verschiedener Ausrüstungsgegenstände verwendet.Prozessdrift und Ausbeuterückgänge sind eine gefürchtete Tatsache in der Halbleiterindustrie.Die Identifizierung, welche Prozessschritte und/oder welches Werkzeug oder welche Kombination von Werkzeugen zur Prozessabweichung oder zum Ertragsrückgang beigetragen haben, ist ein zeitaufwändiger und komplexer Prozess, der einen erheblichen Teil der Zeit der Ingenieure bei Freescale in Anspruch nimmt.Zur Lösung dieser Probleme wird eine Kombination aus von der JMP-Software bereitgestellten Analysetools, von Freescale entwickelten statistischen Methoden und von Freescale entwickelten Analyse- und Visualisierungs-JMP-Skripten verwendet.In diesem Dokument wird die Verwendung von Partitionierung, einer von Freescale entwickelten Methodik, Step Origin of a Drift Analysis (SODA) und zwei von Freescale entwickelten JMP-Softwareskripten beschrieben.Die Skripte ermöglichen die Anordnung der Diagramme und Grafiken auf der Grundlage statistischer Auswertungen sowie die Möglichkeit, sehr schnell von Diagramm zu Diagramm zu wechseln.Diese Methodik ermöglicht eine sehr positive Kombination aus analytischer Anleitung und Tools, die den Ingenieuren visuelle Beweise liefern, die ihrem Wissen und ihrer Erfahrung bei der Entscheidungsfindung darüber entsprechen, was getan werden muss, um die Prozesse wieder in Einklang zu bringen.
