JMP 소프트웨어 시각화 및 분석 기술을 사용하여 불량 도구 및 프로세스 상태 드리프트 식별
짐 넬슨, 엔지니어링 데이터 전문가 – Freescale Semiconductor
집적 회로(컴퓨터 칩)를 만드는 데는 수백 가지의 매우 까다로운 일련의 단계가 필요합니다.이러한 단계 내에서 수백 개의 서로 다른 장비가 사용됩니다.프로세스 드리프트 및 수율 하락은 반도체 산업에서 두려운 현실입니다.프로세스 드리프트 또는 수율 저하에 기여한 프로세스 단계 및/또는 도구 또는 도구 조합을 식별하는 것은 시간이 많이 걸리고 복잡한 프로세스로, Freescale 내에서 엔지니어의 상당한 시간이 소요됩니다.이러한 문제를 해결하기 위해 JMP 소프트웨어에서 제공하는 분석 도구, Freescale에서 개발한 통계 방법론, Freescale에서 개발한 분석 및 시각화 JMP 스크립트의 조합이 사용되고 있습니다.이 백서에서는 분할, Freescale에서 개발한 방법론, SODA(Step Origin of a Drift Analysis) 및 Freescale에서 개발한 두 가지 JMP 소프트웨어 스크립트의 사용에 대해 설명합니다.스크립트를 사용하면 차트에서 차트로 매우 빠르게 이동할 수 있는 기능과 함께 통계적 평가를 기반으로 차트 및 그래프의 순서를 지정할 수 있습니다.이 방법론은 프로세스를 다시 조정하기 위해 수행해야 할 작업에 대한 의사 결정에서 엔지니어의 지식 및 경험과 일치하는 시각적 증거를 엔지니어에게 제공하는 도구와 결합된 분석 지침의 매우 긍정적인 조합을 허용합니다.
