從單元內的多個措施可視化空間信息;由JSL支持<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" /> Tony Cooper,博士,SAS首席分析顧問
Sam Edgemon,SAS首席技術顧問
半導體晶圓製造和CMM(坐標測量機)為單個零件提供許多測量。單元內重複測量的另一個例子是缺陷計數。該數據包括單位內。使用空間信息建模可能很困難,但空間信息應始終用於可視化。這些數據提供的潛在信息包括:“當前單位是否與其他近期單位相似?”和“單位內集中的機會在哪裡?”這些數據可以使用主成分分析(PCA)進行分析和可視化,多變量控制圖表和聚類。最重要的是,數據將使用JMP中的自定義地圖進行可視化。為了使分析工作,需要不止一種數據安排;拆分PCA和群集的數據,但也將群集信息與原始堆疊視圖合併。此演示文稿描述了一種方法,該方法使用JMP腳本進行簡化,以指示控製圖上的類似處理時間段,然後在每個時間段內映射內部信息。
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數據可視化