RENDIMIENTO, ESTADÍSTICAS Y JMP Rendimiento JMP: una herramienta estadística para la mejora del rendimiento en la industria de semiconductores
François Bereget, Ippon Innovación; Alexandre Courvat, Soitec
Los semiconductores son una industria muy compleja que se ocupa de cientos de operaciones (etapas de proceso) y cientos de parámetros, con productos sensibles a partículas tan pequeñas como 0,1 micras y tecnologías de vanguardia en funcionamiento. SOITEC está fabricando obleas de sustrato basadas en una tecnología llamada SOI - Silicon On Insulator, proporcionando a los principales fabricantes de chips materia prima que permite un bajo consumo y un alto rendimiento. En una fábrica de obleas de gran volumen, con requisitos muy estrictos de los clientes en términos de calidad, se necesitan nuevas herramientas de control de procesos para detectar rápidamente cualquier herramienta de proceso defectuosa, y también para encontrar la causa raíz de problemas de rendimiento complejos relacionados con algunas etapas del proceso, pero no depende de la herramienta. El requisito clave de los ingenieros de rendimiento es una herramienta estadística con dos características: lo suficientemente automática como para resaltar rápidamente un conjunto muy limitado de parámetros de proceso (entre cientos) responsables de las pérdidas de rendimiento, lo suficientemente interactiva como para poder ajustar el análisis teniendo en cuenta la "ingeniería". conocimiento". El software JMP fue seleccionado por 3 razones: está utilizando un método estadístico avanzado adaptado a la complejidad de los semiconductores, es muy fácil de usar y todos los ingenieros pueden realizar estadísticas adicionales sin problemas, incluye un lenguaje de programación poderoso, JSL, para desarrollar análisis automáticos para miles de parámetros de entrada y salida.
