수율, 통계 및 JMP 수율 JMP: 반도체 산업의 수율 향상을 위한 통계 도구
Francois Bereget, Ippon Innovation; 알렉상드르 쿠르바, 소이텍
반도체는 0.1마이크론만큼 작은 입자에 민감한 제품과 최첨단 기술을 사용하여 수백 가지 작업(공정 단계)과 수백 가지 매개변수를 처리하는 매우 복잡한 산업입니다. SOITEC은 SOI(Silicon On Insulator)라는 기술을 기반으로 기판 웨이퍼를 제조하고 있으며, 주요 칩 제조사에 저소비, 고성능이 가능한 원자재를 제공하고 있습니다. 품질 면에서 고객 요구 사항이 매우 까다로운 대량 웨이퍼 팹에서 결함이 있는 공정 도구를 신속하게 감지하고 일부 공정 단계와 관련된 복잡한 수율 문제의 근본 원인을 찾기 위해서는 새로운 공정 제어 도구가 필요하지만, 도구에 의존하지 않습니다. 수율 엔지니어의 핵심 요구 사항은 다음과 같은 두 가지 특성을 가진 통계 도구입니다. 수율 손실을 담당하는 매우 제한된 프로세스 매개변수 집합(100개 중)을 신속하게 강조 표시할 만큼 충분히 자동, "엔지니어링"을 고려하여 분석을 조정할 수 있을 정도로 대화식 지식". JMP 소프트웨어는 3가지 이유로 선택되었습니다. 반도체 복잡성에 맞게 조정된 고급 통계 방법을 사용하고 있고, 매우 사용자 친화적이며 모든 엔지니어가 고통 없이 추가 통계를 수행할 수 있으며, 수천 개의 자동 분석을 개발하는 강력한 프로그래밍 언어인 JSL이 포함되어 있습니다. 입력 및 출력 매개변수의.
