RENDIMENTO, STATISTICHE E JMP Yield JMP: uno strumento statistico per il miglioramento del rendimento nell'industria dei semiconduttori
Francois Bereget, Ippon Innovation; Alexandre Courvat, Soitec
I semiconduttori sono un'industria molto complessa, che si occupa di centinaia di operazioni (fasi di processo) e centinaia di parametri, con prodotti sensibili a particelle fino a 0,1 micron e tecnologie all'avanguardia al lavoro. SOITEC sta producendo wafer di substrato basati su una tecnologia chiamata SOI - Silicon On Insulator, che fornisce ai produttori di chip chiave materie prime che consentono bassi consumi e prestazioni elevate. In una fabbrica di wafer di grandi volumi, con esigenze dei clienti molto elevate in termini di qualità, sono necessari nuovi strumenti di controllo del processo per rilevare rapidamente qualsiasi strumento di processo difettoso e anche per trovare la causa principale di complessi problemi di resa relativi ad alcune fasi del processo, ma non dipendente dallo strumento. Il requisito chiave degli ingegneri di resa è uno strumento statistico con due caratteristiche: abbastanza automatico da evidenziare rapidamente un insieme molto limitato di parametri di processo (tra centinaia) responsabili delle perdite di rendimento, abbastanza interattivo da poter regolare l'analisi tenendo conto di "ingegneria conoscenza". Il software JMP è stato selezionato per 3 motivi: utilizza un metodo statistico avanzato adattato alla complessità dei semiconduttori, è molto facile da usare e tutti gli ingegneri possono eseguire statistiche aggiuntive senza problemi, include un potente linguaggio di programmazione, JSL, per sviluppare analisi automatiche per migliaia di dei parametri di ingresso e di uscita.
