YIELD, STATISTICS UND JMP Yield JMP: ein statistisches Tool zur Ertragssteigerung in der Halbleiterindustrie
Francois Bereget, Ippon-Innovation; Alexandre Courvat, Soitec
Die Halbleiterindustrie ist eine sehr komplexe Industrie, die sich mit Hunderten von Vorgängen (Prozessstufen) und Hunderten von Parametern befasst, mit Produkten, die empfindlich auf Partikel von nur 0,1 Mikrometer reagieren, und Spitzentechnologien, die am Werk sind. SOITEC stellt Substratwafer basierend auf einer Technologie namens SOI (Silicon On Insulator) her und versorgt wichtige Chiphersteller mit Rohmaterial, das einen geringen Verbrauch und eine hohe Leistung ermöglicht. In einer großvolumigen Waferfabrik mit sehr strengen Kundenanforderungen in Bezug auf Qualität sind neue Prozesssteuerungswerkzeuge erforderlich, um jedes fehlerhafte Prozesswerkzeug schnell zu erkennen und auch um die Grundursache für komplexe Ertragsprobleme im Zusammenhang mit einigen Prozessstufen zu finden nicht werkzeugabhängig. Die wichtigste Anforderung der Ertragsingenieure ist ein statistisches Tool mit zwei Eigenschaften: automatisch genug, um schnell einen sehr begrenzten Satz von Prozessparametern (von Hunderten) hervorzuheben, die für Ertragsverluste verantwortlich sind, interaktiv genug, um die Analyse unter Berücksichtigung von „Engineering“ anpassen zu können Wissen". Die JMP-Software wurde aus drei Gründen ausgewählt: Sie verwendet fortschrittliche statistische Methoden, die an die Halbleiterkomplexität angepasst sind, sie ist sehr benutzerfreundlich und alle Ingenieure können problemlos zusätzliche Statistiken erstellen, sie enthält eine leistungsstarke Programmiersprache, JSL, um automatische Analysen für Tausende zu entwickeln von Ein- und Ausgabeparametern.
