RENDEMENT, STATISTIQUES ET JMP Rendement JMP : un outil statistique pour l'amélioration du rendement dans l'industrie des semi-conducteurs
François Bereget, Ippon Innovation ; Alexandre Courvat, Soitec
Le semi-conducteur est une industrie très complexe, traitant des centaines d'opérations (étapes de processus) et des centaines de paramètres, avec des produits sensibles aux particules aussi petites que 0,1 micron et des technologies de pointe à l'œuvre. SOITEC fabrique des plaques de substrat basées sur une technologie appelée SOI - Silicon On Insulator, fournissant aux principaux fabricants de puces une matière première permettant une faible consommation et des performances élevées. Dans une usine de fabrication de wafers à grand volume, avec des exigences client très fortes en termes de qualité, de nouveaux outils de contrôle de processus sont nécessaires afin de détecter rapidement tout outil de processus défectueux, et également de trouver la cause profonde des problèmes de rendement complexes liés à certaines étapes du processus, mais ne dépend pas de l'outil. La principale exigence des ingénieurs de rendement est un outil statistique à deux caractéristiques : suffisamment automatique pour mettre rapidement en évidence un ensemble très limité de paramètres de processus (parmi une centaine) responsables des pertes de rendement, suffisamment interactif pour pouvoir ajuster l'analyse en tenant compte de "l'ingénierie connaissances". Le logiciel JMP a été sélectionné pour 3 raisons : il utilise une méthode statistique avancée adaptée à la complexité des semi-conducteurs, il est très convivial et tous les ingénieurs peuvent effectuer des statistiques supplémentaires sans douleur, il comprend un langage de programmation puissant, JSL, pour développer une analyse automatique pour des milliers des paramètres d'entrée et de sortie.
