產量、統計數據和 JMP 產量 JMP：用於提高產量的統計工具...良率、統計數據和 JMP 良率 JMP：用於提高半導體行業良率的統計工具
Francois Bereget，Ippon Innovation；亞歷山大·庫爾瓦特，Soitec
半導體是一個非常複雜的行業，涉及數百個操作（工藝階段）和數百個參數，產品對小至 0.1 微米的顆粒敏感，並且正在使用前沿技術。 SOITEC 正在製造基於 SOI（絕緣體上矽）技術的襯底晶圓，為主要芯片製造商提供低消耗和高性能的原材料。 在大批量晶圓廠中，客戶對質量的要求非常高，新的工藝控制工具是必要的，以便快速檢測任何有缺陷的工藝工具，並找到與某些工藝階段相關的複雜良率問題的根本原因，但不依賴於工具。 良率工程師的關鍵要求是具有兩個特徵的統計工具：足夠自動化，可以快速突出一組非常有限的工藝參數（數百個），這些參數會導致良率損失；交互性足夠，能夠在考慮“工程”的情況下調整分析知識”。 選擇 JMP 軟件有 3 個原因：它使用適應半導體複雜性的先進統計方法，非常用戶友好，所有工程師都可以輕鬆執行附加統計，它包括強大的編程語言 JSL，用於開發數千個自動分析輸入和輸出參數。
JSL
