신속한 열처리 DOE 및 시뮬레이션<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />신속한 열처리 DOE 및 시뮬레이션
제프 헤 버트 제프리. 허버트
Texas Instruments
복잡한 RTP 상호 작용을 모델링 한 후에 우리는 현재 시스템이 차선책이었고 툴 내부 피드백이 작동하며 외부 피드백 루프가 문제라고 결론을 냈습니다. 따라서 시스템을 완전히 변경할 필요는 없지만 피드백 루프를 미세 조정할 수 있습니다. 우리는 사용중인 공정 장비의 특성을 고려한 실행 가능한 모델로 수렴하고, 모델을 사용하고 문제를 극복했습니다.
실험 설계
