ラピッド サーマル プロセスの DOE とシミュレーション<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />ラピッド サーマル プロセスの DOE とシミュレーション
ジェフ・ヒーバートジェフリー・ヒーバート
テキサス・インスツルメンツ
複雑な RTP 相互作用をモデル化した後、現在のシステムは最適ではなく、ツールの内部フィードバックが機能し、外部フィードバック ループが問題であると結論付けました。したがって、システムを完全に変更する必要はありませんでしたが、フィードバック ループを微調整することができました。モデルの使用と伝達に関する課題を克服し、使用中の処理装置の特性を考慮した実用的なモデルに収束しました。
実験計画法
