<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />Schnelle thermische Prozess-DOE und Simulation
Jeff Hebert jeffrey.hebert
Texas Instruments
Nach der Modellierung komplexer RTP-Interaktionen kamen wir zu dem Schluss, dass das derzeitige System suboptimal ist, das interne Tool-Feedback funktioniert und die externe Feedbackschleife das Problem ist. Daher mussten wir das System nicht komplett ändern, sondern konnten die Rückkopplungsschleife fein abstimmen. Wir haben mit der Verwendung und Kommunikation von Modellen Herausforderungen überwunden und konvergieren auf ein umsetzbares Modell, das die Eigenschaften der verwendeten Verarbeitungsgeräte berücksichtigt.
