<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />Processus thermique rapide DOE et simulation
Jeff Hebert jeffrey.hebert
Texas Instruments
Après avoir modélisé des interactions RTP complexes, nous avons conclu que le système actuel était sous-optimal, que la rétroaction interne de l'outil fonctionnait et que le problème était lié à la boucle de rétroaction externe. Par conséquent, nous n’avions pas besoin de modifier complètement le système, mais nous pouvions ajuster la boucle de rétroaction. Nous avons surmonté les défis en utilisant et en communiquant des modèles, en convergeant vers un modèle exploitable prenant en compte les caractéristiques de l'équipement de traitement utilisé.
