演讲 嘉宾 : 许广勤 ,SMIC ,工艺 整合 资深 经理
Altavoz: Guangqin Xu , Gerente Senior de Integración de Procesos, SMIC
主题 : 的 的 统计 分析
Tema: Práctica estadística durante diferentes fases de producción en una fundición de semiconductores
摘要 :
Se trata de un sitio web en el que se puede encontrar información adicional sobre el producto o la gestión de la información de un usuario de la empresa.的 工具C C ,的 概念
Resumen:
En cada fase de fabricación de productos semiconductores, existen diferentes enfoques de ingeniería. Por lo tanto, se introducen diferentes herramientas estadísticas. En la fase piloto, es fundamental encontrar la mejor condición del proceso y explorar la ventana del proceso. El diseño de experimentos (DOE) es una herramienta útil para lograr las condiciones de proceso deseadas con recursos limitados y un ciclo de tiempo más corto. En la producción de riesgo, el control estricto del proceso garantiza la estabilidad del proceso y la detección temprana de fallos. Las herramientas de control estadístico de procesos (SPC) están ampliamente involucradas para monitorear el desempeño del proceso, garantizar que el proceso esté bajo control y reducir la variación de calidad. En la fase de producción en masa, la extensión de la capacidad es tan importante como la estabilidad del proceso, y la concordancia completa de los datos es una mentalidad clave para garantizar una extensión rápida sin interrupciones. JMP puede desempeñar un papel estadístico clave durante toda la vida útil de un producto semiconductor.