演讲 嘉宾: 许广勤 , SMIC, 工艺 整合 资深 经理
Speaker: Guangqin Xu , Senior Process Integration Manager, SMIC
主题: 半导体 工厂 不同 生产 阶段 的 统计 分析 实践
Argomento: Pratica statistica durante diverse fasi di produzione in una fonderia di semiconduttori
摘要:
在 半导体 产品 的 生产 过程 中 不同 的 阶段 有 不同 的 工程 侧重点, 从而 会 引入 相应 不同 的 统计 分析 工具. 在 试 产 阶段, 如何 发现 最佳 的 工艺 条件 和 探索 工艺 窗口 非常 重要, 实验 设计 (DOE ) 是 一个 非常 有用 的 工具 来 帮助 我们 在 有限 的 资源 下 获得 期望 的 工艺 条件, 缩短 工程 周期. 在 批量生产 过程 中, 我们 更 注重 如何 通过 加强 工艺 控制 来 维护 产品 线 的 稳定 以及 早期 失效 侦测. 统计 工艺 控制 SPC 经常 被 用来 监控 制 程 的 状态, 确定 生产 过程 在 管制 的 状态 下, 以 降低 产品 品质 的 变异. 而 在 大规模 量 产 的 过程 中, 产 能 扩充 和 产 线 稳定 变得 同样 重要, 全面 的 数据 匹配 是 个 重要 的 概念 来 保证 在 没有 异常 事件 的 情况 做到 快速 的 产 能 扩展 .JMP 可以 在 半导体 产品 生产 的 各个 阶段 统计 分析 中 都 可以 扮演 重要 的 角色.
Astratto:
In ogni fase della produzione di prodotti a semiconduttori, ci sono diversi focus di ingegneria. Pertanto, vengono introdotti diversi strumenti statistici. Nella fase pilota, è fondamentale scoprire la migliore condizione di processo ed esplorare la finestra del processo. Design of experiments (DOE) è uno strumento utile per ottenere le condizioni di processo desiderate con risorse limitate e un tempo di ciclo ridotto. Nella produzione del rischio, un severo controllo di processo garantisce la stabilità del processo e il rilevamento precoce dei guasti. Gli strumenti di controllo statistico del processo (SPC) sono ampiamente coinvolti per monitorare le prestazioni del processo, garantire che il processo sia sotto controllo e ridurre le variazioni di qualità. Nella fase di produzione di massa, l'estensione della capacità è tanto importante quanto la stabilità del processo e l'abbinamento completo dei dati è una mentalità chiave per garantire un'estensione rapida senza escursione. JMP può svolgere un ruolo statistico chiave durante l'intera vita di un prodotto a semiconduttori.
