演讲 嘉宾 ： 许广勤 ，SMIC ，工艺 整合 资深 经理
Redner: Guangqin Xu , Senior Process Integration Manager, SMIC
主题 ： 工厂 不同 的 的 统计 分析 实践
Thema: Statistische Praxis in verschiedenen Produktionsphasen einer Halbleitergießerei
摘要 ：
半导体 产品 的 的 过程 中 的 的 阶段 有 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的....................................是 一个 非常 的 的 工具 来 帮助 我们 在 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的SPC wird von SPC-Mitarbeitern unterstützt. 被 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 的 控制MP 全面 的 数据 匹配 是 个 的 的 概念 来 保证 在 的 的 的 的 的 MP MP MP MP MP MP MP MP MP MP MP MP MP MP 的 的 的
Abstrakt:
In jeder Phase der Halbleiterproduktherstellung gibt es unterschiedliche Engineering-Schwerpunkte. Daher werden verschiedene statistische Werkzeuge eingeführt. In der Pilotphase ist es wichtig, die besten Prozessbedingungen zu ermitteln und das Prozessfenster zu untersuchen. Der Entwurf von Experimenten (DOE) ist ein praktisches Werkzeug, um die gewünschten Prozessbedingungen mit begrenzten Ressourcen und einer verkürzten Zykluszeit zu erreichen. In der Risikoproduktion gewährleistet eine strenge Prozesskontrolle die Prozessstabilität und frühzeitige Fehlererkennung. Statistische Prozesssteuerungs-Tools (SPC) sind weit verbreitet, um die Prozessleistung zu überwachen, um sicherzustellen, dass der Prozess unter Kontrolle ist, und um Qualitätsschwankungen zu reduzieren. In der Massenproduktionsphase ist die Kapazitätserweiterung genauso wichtig wie die Prozessstabilität, und ein vollständiger Datenabgleich ist eine wichtige Denkweise, um eine schnelle Erweiterung ohne Auslenkung sicherzustellen. JMP kann während der gesamten Lebensdauer eines Halbleiterprodukts eine statistische Schlüsselrolle spielen.
