嘉宾 ： 许广勤 SMIC IC 工艺 整合 资深 IC
Orateur: Guangqin Xu , Gestionnaire principal d'intégration des processus, SMIC
主题 ： 不同 生产 的 统计 分析 实践
Sujet: Pratique statistique au cours de différentes phases de production dans une fonderie de semi-conducteurs
摘要 ：
产品 的 生产 中 不同 的是 一个 有用 的 具 来控制 经常 工艺 控制 C 控制全面 的 数据 MP MP
Abstrait:
Dans chaque phase de la fabrication des produits semi-conducteurs, il existe différents domaines d’ingénierie. Par conséquent, différents outils statistiques sont introduits. Au cours de la phase pilote, il est essentiel de déterminer la meilleure condition de processus et d'explorer la fenêtre de processus. La conception d'expériences (DOE) est un outil pratique pour atteindre les conditions de processus souhaitées avec des ressources limitées et un temps de cycle réduit. En production à risque, un contrôle strict des processus garantit la stabilité des processus et la détection précoce des défaillances. Les outils SPC (Statistical Process Control) sont largement impliqués pour surveiller les performances des processus, garantir leur maîtrise et réduire les variations de qualité. Dans la phase de production en série, l’extension de la capacité est tout aussi importante que la stabilité du processus, et l’appariement complet des données est un état d’esprit clé pour une extension rapide sans excursion. JMP peut jouer un rôle statistique clé tout au long de la vie d’un produit semi-conducteur.
