半導體工廠生產不同階段的統計分析實踐_許廣勤_20170524 演講嘉賓：許廣勤 ，SMIC，工藝整合資深經理
揚聲器： 徐廣勤 ，中芯國際高級流程整合經理
主題： 半導體工廠不同生產階段的統計分析實踐
話題： 半導體鑄造廠不同生產階段的統計實踐
摘要：
在半導體產品的生產過程中不同的階段有不同的工程側重點，從而會引入相應不同的統計分析工具。在試產階段，如何發現最佳的工藝條件和探索工藝窗口非常重要，實驗設計（DOE ）是一個非常有用的工具來幫助我們在有限的資源下獲得期望的工藝條件，縮短工程週期。在批量生產過程中，我們更注重如何通過加強工藝控制來維護產品線的穩定以及早期失效偵測。統計工藝控制SPC經常被用來監控制程的狀態，確定生產過程在管制的狀態下，以降低產品品質的變異。而在大規模量產的過程中，產能擴充和產線穩定變得同樣重要，全面的數據匹配是個重要的概念來保證在沒有異常事件的情況做到快速的產能擴展.JMP可以在半導體產品生產的各個階段統計分析中都可以扮演重要的角色。
抽象：
在半導體產品製造的每個階段，都有不同的工程重點。因此，引入了不同的統計工具。在試驗階段，找出最佳工藝條件並探索工藝窗口至關重要。實驗設計（DOE）是一種方便的工具，可以在有限的資源和縮短的循環時間內實現所需的工藝條件。在風險生產中，嚴格的過程控制可確保過程穩定性和早期故障檢測。統計過程控制（SPC）工具廣泛用於監控過程性能，確保過程受控並降低質量變化。在批量生產階段，容量擴展與流程穩定性同樣重要，完整數據匹配是確保快速擴展而不會出現偏差的關鍵思維方式。JMP可以在半導體產品的整個生命週期中發揮關鍵的統計作用。
